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ガス漏れ検査について

ヘリウムリークテスト とは?

ヘリウムガスを検査物に充填し、真空チャンバー内にて漏れ出るガスを検出器(ヘリウムのみを検知)に通すことにより、検査物に漏れ箇所がないか判断します。

ヘリウムリークテスト とは?

他のリークテストとの比較および測定範囲

他のリークテストとの比較および測定範囲

ヘリウムガスは、地球上の原子の中で2番目に小さい(原子半径)原子であるため、非常に微少な隙間からも漏れ出します。

空気中に含まれる含有量が非常に少ないため、検査時に誤反応する可能性は低いです。さらには不活性ガスであるため、人体や試験対象物にも無害で環境汚染しません。
水没式のように、水に濡れることもないので、試験対象物が錆びることもありません。
ヘリウムガスは、上記のように、トレーサーガス(検査用ガス)として非常に優秀で理想的な特徴を揃えています。

ヘリウムガス濃度は100%から希釈したものまで使用可能です。
また、ヘリウムガスは高価なので、回収して使用することも可能です。

検査対象品目ごとのリークレート例

ヘリウムリークテストの原理

イオンチャンバ内にて気体分子に電子ビームを当て、イオン化します。
イオン化された気体分子は、スリットから勢いよく飛び出します。
飛び出したイオンは、磁場のかけられた分析部を通過するとき、イオン質量の違いにより、それぞれ異なった円軌道を描くように偏向されます。
ヘリウムイオンの描く円軌道上に検知部を配置することにより、ヘリウムだけを検知します。

ヘリウムリークテストの原理
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