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真空機器部材について

真空配管の接続には、専用の真空配管部品を使用します。

同じ形状のテーパを持つフランジの間に、センターリングでサポートされるOリングを入れ、クランプリングにて挟み、つぶすことにより固定し、同時にシールを行います。

真空フランジの結合方法としては非常に短時間で結合することができる接合方法であり、真空配管の接続においてはもっとも標準的な方法です。

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